1996 年 3 月
米国 Varian Associates 社と NEC フィールディング（株）の合弁会社として、放射線治療機器製品のサービス専門会社（株）日本オンコロジーシステムが発足
1997 年 2 月
米国 Varian Associates 社が日本での事業拡大を目指し、分析・計測機器、半導体製造装置及びヘルスケア システムの 3 事業部門からなるバリアン ジャパン（株）を設立
1998 年 1 月
バリアン ジャパン（株）が、米国 Varian Associates 社の放射線治療機器製品の販売総代理店サイバニスティ社を吸収し、事業を継承
1999 年 3 月
米国 Varian Associates 社の 3 分社化に伴うバリアン ジャパン（株）の 3 分社化により、医療関連部門が（株）バリアン・メディカル・システムズとして独立
2003 年 8 月
（株）バリアン・メディカル・システムズと （株）日本オンコロジーシステムが合併し、販売とサービスを一体化
2004 年 2 月
米国 Varian Medical Systems 社と三菱電機（株）との合弁会社となり、社名を株式会社 Varian ME メディカルシステムズに変更
2007 年 2 月
合弁契約に基づき合弁を解消、米国 Varian Medical Systems 社の 100 % 子会社となる
2007 年 4 月
社名を株式会社バリアン メディカル システムズに変更
2016 年12 月
米国 Varian Medical Systems 社によるイメージングコンポーネンツ事業分社化に伴い、X 線電子製品及び工業用直線加速器に関連する部門・事業を、バレックスイメージングジャパン（株）へ譲渡。